5月29日下午,行知講壇第208講在率水校區(qū)文津樓508舉行。安徽工程大學(xué)王建彬教授應(yīng)邀作題為“先進(jìn)制造技術(shù)之芯片襯底材料的超精密加工”的學(xué)術(shù)報(bào)告。機(jī)電工程學(xué)院師生180余人參加報(bào)告會(huì)。報(bào)告由機(jī)電工程學(xué)院院長汪洪峰主持。
針對芯片襯底材料現(xiàn)有的超精密加工工藝難點(diǎn),王建彬教授提出了固結(jié)磨料研磨拋光工藝的新應(yīng)用,介紹了藍(lán)寶石襯底的加工工藝和機(jī)理研究。固結(jié)磨料技術(shù)的應(yīng)用可從根本上解決游離磨料研磨拋光的不足,切實(shí)提高工件加工效率,改善工件面形精度,減少污染,可為藍(lán)寶石晶片的高效優(yōu)質(zhì)生產(chǎn)提供理論指導(dǎo),具有一定的經(jīng)濟(jì)效益和深遠(yuǎn)的社會(huì)意義。
報(bào)告會(huì)重點(diǎn)討論了藍(lán)寶石晶片研磨工藝的關(guān)鍵技術(shù)并且傳授了長久積累的技術(shù)經(jīng)驗(yàn),例如采用細(xì)粒碳化硼和金剛石顆粒鑲嵌的陶瓷研磨盤配合粗磨工藝,可以顯著減少表面損傷并提高加工質(zhì)量,不同研磨參數(shù)對藍(lán)寶石表面粗糙度和去除率的影響等問題。王建彬教授結(jié)合實(shí)例展示中國在新型劃切技術(shù)取得的成績。在互動(dòng)環(huán)節(jié),同學(xué)們積極提問、交流心得,現(xiàn)場氣氛熱烈而融洽。
王建彬,博士、教授、碩士生導(dǎo)師,日本茨城大學(xué)訪問學(xué)者,中國機(jī)械工程學(xué)會(huì)高級會(huì)員,日本精密工學(xué)會(huì)正會(huì)員。近年來主持安徽省自然科學(xué)基金項(xiàng)目、安徽省高校優(yōu)秀青年人才支持計(jì)劃重點(diǎn)項(xiàng)目、安徽省教育廳自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目、省級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金項(xiàng)目等縱向及企業(yè)橫向合作項(xiàng)目20余項(xiàng),科研到賬經(jīng)費(fèi)280余萬元。發(fā)表科研論文30余篇,其中被SCI或EI收錄20余篇。獲安徽省科技進(jìn)步獎(jiǎng)三等獎(jiǎng)1項(xiàng),授權(quán)專利15件,計(jì)算機(jī)軟件著作權(quán)3件。擔(dān)任安徽省、浙江省科技項(xiàng)目評審專家,入選安徽工程大學(xué)中青年拔尖人才培養(yǎng)計(jì)劃。
(撰稿:童明勇;攝影:融媒體中心;責(zé)任編輯:趙睛;審核:汪洪峰 徐德平)